根據(jù)高精度零件定制的經(jīng)驗(yàn)， 精密機(jī)械加工的電感測(cè)微機(jī)構(gòu)的誤差來(lái)源如下：

１、電感測(cè)微原理的非線性誤差

因?yàn)槲灰坪洼敵鲭妷杭半姼惺欠蔷€性的，而測(cè)量電路也存在非線性，所以，精密機(jī)械加工為了減小非線性誤差，常采用差動(dòng)式結(jié)構(gòu)并限制測(cè)量范圍。例如， 精密機(jī)械零件加工廠 對(duì)于變氣隙式測(cè)量范圍取1/5～1/10的氣隙長(zhǎng)度，螺管式取1/3～1/10的線圈長(zhǎng)度，對(duì)螺管式增加線圈長(zhǎng)度有利于擴(kuò)大線性范圍，但在工藝上要特別注意導(dǎo)磁材料與繞制的均勻性和線圈骨架的加工精度。對(duì)于差動(dòng)結(jié)構(gòu)應(yīng)保證對(duì)稱性，合理選擇銜鐵的長(zhǎng)度和線圈的距數(shù)，對(duì)此要通過(guò)試驗(yàn)而獲得。

２、測(cè)微機(jī)構(gòu)的零位誤差

在銜鐵處于中間位置時(shí)電橋輸出應(yīng)為零，但由于機(jī)構(gòu)中兩線圈的幾何參數(shù)和電氣參數(shù)不對(duì)稱、不一致等原因造成零位誤差。過(guò)大的零位電壓會(huì)使放大器提前飽和，使伺服電機(jī)發(fā)熱而造成系統(tǒng)控制失靈。要求在裝配時(shí)對(duì)主要件進(jìn)行參數(shù)測(cè)量和選配，在加工中對(duì)磁性材料進(jìn)行穩(wěn)定性處理。

３、溫度誤差

測(cè)微機(jī)構(gòu)使用環(huán)境溫度的變化會(huì)引起零點(diǎn)漂移，其線性和相位都會(huì)發(fā)生變化而造成溫度誤差。因?yàn)闇囟茸兓笠鸬臋C(jī)構(gòu)零件尺寸的變化、材料的電阻率變化等會(huì)使線圈阻抗產(chǎn)生變化，破壞原有的平衡，溫度變化導(dǎo)致磁性材料磁導(dǎo)率、材料介質(zhì)的變化，引起輸出電感量的變化和寄生電容的改變。因此，對(duì)機(jī)構(gòu)中磁性材料選擇上除滿足磁性要求，還應(yīng)注意對(duì)線脹系數(shù)大小的選擇與匹配。

４、電源波動(dòng)

會(huì)導(dǎo)致輸出信號(hào)的波動(dòng)，電源波動(dòng)會(huì)使鐵芯磁感應(yīng)強(qiáng)度和磁導(dǎo)率改變?cè)斐纱抛枳兓?，所以精密機(jī)加工電源要穩(wěn)壓。電源頻率的波動(dòng)會(huì)引起感抗的變化，可采用差動(dòng)工作方式補(bǔ)償其影響，選用的磁性材料要與頻率變化相配。